DIN 50446-1995 半导体工艺材料的检验.硅晶体外延层缺陷种类和缺陷密度的测定

作者:标准资料网 时间:2024-05-08 15:41:59  浏览:8611   来源:标准资料网

【英文标准名称】:Testingofmaterialsforsemiconductortechnology-Determinationofdefecttypesanddefectdensitiesofsiliconepitaxiallayers
【原文标准名称】:半导体工艺材料的检验.硅晶体外延层缺陷种类和缺陷密度的测定
【标准号】:DIN50446-1995
【标准状态】:作废
【国别】:德国
【发布日期】:1995-09
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DE-DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:硅;试验;材料试验;材料;晶体缺陷;外延层;半导体;缺陷与故障;定义;矽;外延片;半导体工艺
【英文主题词】:Crystaldefects;Defects;Definition;Definitions;Epitaxiallayers;Epitaxialslices;Materials;Materialstesting;Semiconductortechnology;Semiconductors;Silicon;Testing
【摘要】:Thedocumentspecifiesmethodsfordeterminationofdefecttypes,especiallycrystaldefects,anddefectdensitiesofsiliconepitaxiallayerswithathicknessof0,5?#,,#
【中国标准分类号】:L40
【国际标准分类号】:29_045
【页数】:10P;A4
【正文语种】:德语